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風淋室在MEMS中試平臺的應用

    近日,fenglins在朋友的帶領下,來參觀某MEMS中試平臺,聽相關負責人介紹道:近千平米的潔凈室便是微機電制造的“主戰場”，按照工藝流程分為“光刻區”、“蝕刻區”、“薄膜區”、“擴散區”、“注入區”和“封裝測試區”。筆者穿梭在160多套頂尖的制造機臺間，“高大上”的氣息撲面而來。而且在進入這種車間的前面都要經過一道風淋室進行風淋除塵后才能進入到里面.

    整個MEMS中試平臺的潔凈度等級分為四種，分別是class10、100、1000、10000，潔凈程度最嚴苛的是光刻區，按照標準，即使是肉眼看不見的灰塵，一立方米的空氣中最多只能存在幾粒。

    MEMS中試平臺的專業還體現在對環境的苛刻要求，溫度要時刻保持23度，上下幅度不能超過1度，濕度要在45%，上下幅度不能超過5%。進入該平臺的“心臟”--潔凈室之前，所有人員必須換上全套的防塵服，手套、口罩自然也是必要裝備。可別以為這樣就能輕松進入了，身份登記和隨身物品清洗后，你還要面臨風淋室里面的8個風淋噴嘴進行10秒鐘的吹風清潔，以確保拂去塵土。

    要保持清潔，除實時監測和定期打掃外，還有一個隱藏在地板地下的奧秘。“其實我們現在看到的機臺都只是‘冰山一角’，它們的一些附屬設備都‘埋’在地板下，比如冷卻機、氣柜、泡沫管等等。”工作人員說:“將機臺的部分‘身體’埋起來可以有效減少灰塵的堆積。”仔細觀察，你還會發現地板上分布著許多小洞，這些小洞是為了讓灰塵隨著空氣層流從上至下流到“地下”并排出的獨特設計。這個也是潔凈室里面最常見的一種送風方式,隨時著和各種潔凈度要求的提高, MEMS中試平臺的潔凈要求也是相對比較高的,這就要求所配套使用的風淋室一定要達到相關要求.